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Les processus de fabrication d'euv à 7 nm et 5 nm ont plus de difficultés que prévu

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Anonim

L'avancée des processus de fabrication des puces en silicium devient de plus en plus compliquée, ce que l'on peut voir avec le même Intel qui a eu de grandes difficultés dans son processus à 10 nm, ce qui l'a conduit à allonger considérablement la durée de vie de le 14 nm. D'autres fonderies telles que Globalfoundries et TSMC auraient plus de difficultés que prévu dans le passage à des processus de 7 nm et 5 nm basés sur la technologie EUV.

Plus de problèmes que prévu avec les processus EUV à 7 nm et 5 nm

Alors qu'Intel, Globalfoundries et TSMC évoluent vers des processus de fabrication de moins de 7 nm avec des plaquettes de 250 mm et l'utilisation de la technologie EUV, ils rencontrent plusieurs difficultés de plus que prévu. Les rendements de traitement à 7 nm avec EUV ne sont pas encore là où les fabricants veulent être, ce qui sera encore taxé avec le passage à 5 nm avec plusieurs anomalies différentes survenant dans la production de test. Il a été dit qu'il fallait des jours aux chercheurs pour rechercher des défauts sur les puces 7 nm et 5 nm.

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Divers problèmes d'impression émergent dans des dimensions critiques d'environ 15 nm, nécessaires pour fabriquer des puces de 5 nm, dont la production réelle est attendue d'ici 2020. Le fabricant de machines EUV ASML prépare un nouveau système EUV de nouvelle génération Traiter ces défauts d'impression trouvés, mais ces systèmes ne devraient pas être disponibles avant 2024.

À tout ce qui précède s'ajoute une autre difficulté liée aux processus de fabrication basés sur les EUV, la physique sous-jacente derrière. Les chercheurs et les ingénieurs ne comprennent toujours pas exactement quelles interactions sont pertinentes et se produisent dans la gravure de ces motifs extrêmement fins avec un éclairage EUV. Par conséquent, il faut s'attendre à ce que des problèmes imprévus surviennent.

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